بررسی توزیع پتانسیل و تحلیل پایداری در سنسور صوتی خازنی چگالنده

سنسورهای صوتی خازنی، دارای یک غشای نازک، مدور و مقید شده می باشند. این غشا یکی از دو صفحه خازن موجود در سنسور را تشکیل می دهد. در این مقاله چگونگی حرکت غشا در مواجه با موج صوتی و تأثیر این حرکت بر توزیع پتانسیل فضای بیند و صفحه خازن، بررسی شده است. به منظور پایداری عملکرد، لازم است غشای متحرک به صفحه پشتی خازن برخورد نکند. لذا در این مقاله علاوه بر توزیع پتانسیل، پایداری مکانیکی، بر اساس متغیرهای موجود، مانند حنس غشا و شدت نیروی موج صوتی مورد بحث قرار گرفته است. بررسی های انجام شده این پژوهش، به کمک حلعددی باروش تفاضل محدود صورت گرفته است. نتایج حاکی از آن دارد که با در نظر گرفتن موقعیت متقارن حفره های صفحه پشتی خازن، توزیع پتانسیل کاملاً متقارن صورت می گیرد.

کلیدواژه ها:

سنسور صوتی خازنی ، حلعددی ، پایداری ، توزیع پتانسیل