طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک

سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,371

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICEES01_101

تاریخ نمایه سازی: 16 اسفند 1394

چکیده مقاله:

رشد فزاینده استفاده از سنسورها در عرصه های گوناگون و همچنین کاربردی کردن تکنولوژیهای جدید برای استفاده در صنعت ، دلیل برای ورود به این عرصه می باشد. از طرفی تکنولوژی میکرو الکترومکانیک با تلفیق المان های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد کوچک بر روی ویفرهای سیلیکونی ، امکان اندازه گیری دقیق با کارایی و قابلیت بالا را فراهم می نماید.در این تحقیق با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک یک سنسور طراحی و شبیه سازی می شود و اثر ساختار طراحی شده بر حساسیت سنسور فشار میکروالکترومکانیک با مبدل پیزو مقاومتی بررسی و با استفاده از معادلات حاکم، مقدار جابجایی و ولتاژ معادل محاسبه و در نهایت با استفاده از شبیه ساز و با بررسی تغییر وضعیت دیافراگم و رصد عملکردسنسور، راه کارهایی جهت افزایش حساسیت حسگر ارائه می شود

نویسندگان

محسن جعفری حقیقی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب

جواد کرمدل

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب

رضا فضایلی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • محمد _، رض‌افض‌ل زا‌فرام‌رز _ _ ح‌لی‌تب‌ب‌خ‌ار _ ح‌گره‌ای دو ...
  • Jianwei Gong, Weifeng Fei, Zheng Xia, Quanfang Chen, Sudipta Seal, ...
  • Arunkumar Lagashetty and A Venkataraman, , , Polymer Nanocomp osites", ...
  • S. Beeby, G. Ensell, M. Kraft, N. White, "MEMS Mechanical ...
  • S.D. Senturia, "Microsystem design", 2000 ...
  • N.V. Toan, D. S. Thach, N. v. Hieu , "Piezoresistive ...
  • نمایش کامل مراجع