کالیبراسیون سنسور شتاب سنج سه محوره مبتنی بر تکنولوژی MEMS

سنسورهای MEMSتجهیزات ارزان قیمت است که نسبت به سنسورهای مکانیکی دارای اندازه های بسیار کوچکی هستند با این حال خروجی آن دارای خطای زیادی است و در عین حال خطای سیستماتیک که به دلیل نقایص ساخت در آنها ایجاد می شود به خروجی اضافه می گردد. در این مقاله خروجی یک نمونه سنسور شتابسنج سه محوره مورد بررسی قرار می گرفته و به وسیله روش حداقل مربعات کالیبره شده و در پایان نتیجه کالیبراسیون به طور کامل آورده شده است . در کالیبراسیون یک ورودی مشخص به عنوان مرجع به سنسور اعمال می شود که در اینجا از شتاب جاذبه زمین استفاده شده است

کلیدواژه ها:

شتاب سنج ، کالیبراسیون ، فاکتور مقیاس ، بایاس