سیستم های میکروالکترو مکانیکی

فناوری MEMS یا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است. فناوری MEMS امکان تلفیق میکروالکترونیک را با درک فعال و اعمال کنترلی فراهم کرده، فضای طراحی و کاربرد را بسط میدهد.فناوری MEMSیا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشههای میکرونی است.فناوری MEMS توانایی کشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد مانند : میکروسیستم های واکنش های زنجیرهای پلیمراز (PCR) برای تقویت و شناسایی DNAو میکروسکپهای تونلزنی پیمایشگر (STM) که با فرآیندهای ماشینکاری میکرونی ساخته شدهاند و همچنین تراشههای زیستی شناساگر عوامل خطرناک شیمیایی و بیولوژیکی و فناوری جهشی میکروسیستمها جهت غربال و انتخاب سریع دارو. فناوری MEMS مزایای متعددی دارد.فناوری گستردهای است که بالفعل میتواند تاثیر مهمی بر انواع تولیدات تجاری و نظامی بگذارد. هماکنون MEMS در هر چیزی، از نمایش فشار خون گرفته تا سیستمهای تعلیق فعال خودروها active suspension systemsمورد استفاده قرار میگیرد.میکروماشینکاری سطحی3 میکروماشینکاری حجمی4 و LIGA5 روش های کلی ساخت و متبلور شدن دیاکسید سیلیکون14 و مقاومت نوری15 و در معرض گذاشتن حکاکی نوری و توسعه آن16 و قلم زدن دیاکسید سیلیکون و تهنشین شدن پلیسیلیکون و مسطح کردن مقاومت نوری و ماسک نوری و قلم زدن پلی سیلیکون و حذف مقاومت نوری و تهنشین شدن فلویورید نیکل17 از مراحل اساسی ساخت MEMSها هستند

کلیدواژه ها:

فناوری MEMS ، سیستم های میکروالکترومکانیکی