CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

سیستم های میکروالکترو مکانیکی

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۱۳ | تعداد نمایش خلاصه: ۱۱۸ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۶
کد COI مقاله: ICELE02_197
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۵۴۸.۴۲ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۱۳ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۱۳ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله سیستم های میکروالکترو مکانیکی

  علیرضا کیانفر - دانشجو مهندسی برق مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بویین زهرا ،استان قزوین، ایران

چکیده مقاله:

فناوری MEMS یا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است. فناوری MEMS امکان تلفیق میکروالکترونیک را با درک فعال و اعمال کنترلی فراهم کرده، فضای طراحی و کاربرد را بسط میدهد.فناوری MEMSیا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشههای میکرونی است.فناوری MEMS توانایی کشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد مانند : میکروسیستم های واکنش های زنجیرهای پلیمراز (PCR) برای تقویت و شناسایی DNAو میکروسکپهای تونلزنی پیمایشگر (STM) که با فرآیندهای ماشینکاری میکرونی ساخته شدهاند و همچنین تراشههای زیستی شناساگر عوامل خطرناک شیمیایی و بیولوژیکی و فناوری جهشی میکروسیستمها جهت غربال و انتخاب سریع دارو. فناوری MEMS مزایای متعددی دارد.فناوری گستردهای است که بالفعل میتواند تاثیر مهمی بر انواع تولیدات تجاری و نظامی بگذارد. هماکنون MEMS در هر چیزی، از نمایش فشار خون گرفته تا سیستمهای تعلیق فعال خودروها active suspension systemsمورد استفاده قرار میگیرد.میکروماشینکاری سطحی3 میکروماشینکاری حجمی4 و LIGA5 روش های کلی ساخت و متبلور شدن دیاکسید سیلیکون14 و مقاومت نوری15 و در معرض گذاشتن حکاکی نوری و توسعه آن16 و قلم زدن دیاکسید سیلیکون و تهنشین شدن پلیسیلیکون و مسطح کردن مقاومت نوری و ماسک نوری و قلم زدن پلی سیلیکون و حذف مقاومت نوری و تهنشین شدن فلویورید نیکل17 از مراحل اساسی ساخت MEMSها هستند

کلیدواژه‌ها:

فناوری MEMS ، سیستم های میکروالکترومکانیکی

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-ICELE02-ICELE02_197.html
کد COI مقاله: ICELE02_197

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
کیانفر, علیرضا، ۱۳۹۶، سیستم های میکروالکترو مکانیکی، دومین کنفرانس بین المللی مهندسی برق، تهران، دانشگاه علامه مجلسی، https://www.civilica.com/Paper-ICELE02-ICELE02_197.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (کیانفر, علیرضا، ۱۳۹۶)
برای بار دوم به بعد: (کیانفر، ۱۳۹۶)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
نوع مرکز: دانشگاه دولتی
تعداد مقالات: ۲۳۲
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

مقالات مرتبط جدید

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.