یک ژیروسکوپ ستارهای 16 پر تشدیدی چند پوسته مبتنی بر فناوری MEMS

سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 353

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICELE03_277

تاریخ نمایه سازی: 18 اسفند 1397

چکیده مقاله:

در این مقاله یک ژیروسکوپ تشدیدی چند پوسته میکروالکترومکانیکی طراحی و شبیه سازی شده است. اینژیروسکوپ مبتنی بر تکنولوژی MEMS بوده و کاملا با فرآیندهای ساخت مدارهای مجتمع سازگار می باشد. ژیروسکوپ تشدیدی پیشنهادی شامل سه پوسته ستارهای 16 پر متصل به همدیگر می باشد که توسط 16 فنر نگهدارنده به یک تکیه گاه مرکزی وصل شده است. ژیروسکوپ طراحیشده از جنس پلی سیلیکون به ضخامت 40m و قطر 2.5mm در نظر گرفته شده است و دارای فرکانس تشدید 90.189kHz و حساسیت 18mV/deg/s می باشد. با اعمال سرعت زاویه ای s/˚200 به ساختار، ظرفیت خازنی در الکترودهای حسگری برابر با 1.6fF و ولتاژ خروجی برابر با 3500mV حاصل شده است. شبیه سازی ساختار ژیروسکوپ پیشنهادی توسط نرم افزار COMSOL Multiphysics انجام گرفته است.

نویسندگان

سمیرا جعفری

دانشجوی کارشناسی ارشد، گروه مهندسی برق، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران

فرشاد بابازاده

استادیار، دانشکده مهندسی برق، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران