CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)
عنوان
مقاله

طراحی و ساخت میکروفیکسچر به روش UV-LIGA

اعتبار موردنیاز: ۱ | تعداد صفحات: ۱۰ | تعداد نمایش خلاصه: ۸۹۶ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۸۴
کد COI مقاله: ICME07_185
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۹۱۴.۸۳ کلیوبایت (فایل این مقاله در ۱۰ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید. در پایگاه سیویلیکا عموما مقالات زیر ۵ صفحه فولتکست محسوب نمی شوند و برای خرید اینترنتی عرضه نمی شوند.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود PDF مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۱۰ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳۰,۰۰۰ ریال

آدرس ایمیل خود را در زیر وارد نموده و کلید خرید با پرداخت اینترنتی را بزنید. آدرس ایمیل:

رفتن به مرحله بعد:

در صورت بروز هر گونه مشکل در روند خرید اینترنتی، بخش پشتیبانی کاربران آماده پاسخگویی به مشکلات و سوالات شما می باشد.

مشخصات نویسندگان مقاله طراحی و ساخت میکروفیکسچر به روش UV-LIGA

  محسن حامدی (شناسه پژوهشگر - Researcher ID: ۴۳۷۸)
استادیار دانشکده فنی، نویسنده برای مکاتبات
حامد اسماعیل پور مطلق - کارشناس ارشد ساخت و تولید
محمد بیدهندی - دانشجوی کارشناسی ارشد ساخت و تولید

چکیده مقاله:

بعلت گسترش روند استفاده از قطعات کوچک در محصولات مختلف، اغلب اینگونه قطعات از جمله قطعات MEMS در فرایندهای تولید دسته ای و به صورت انبوه ساخته می شوند. حمل و نقل و مونتاژ این قطعات بکمک میکرو روباتها بسیار زمان بر وپرهزینه است. بنابراین استفاده از میکروفیکسچرها در بازرسی، مونتاژ و حمل و نقل این قطعات به هنگام تولید انبوه ضروری است. دراین مقاله تکنولوژی جدید UV-LIGA با توجه به ارزانقیمت بودن آن نسبت به سایر روشها و کارآیی زیاد آن، برای ساخت سیستم میکروفیکسچرینگ انتخاب گردید. هدف اصلی این مقاله طراحی و ساخت میکروفیکسچر قطعات MEMS است. برای دستیابی به این هدف، میکروفیکسچری برای موقعیت دهی و نگهداری قطعات ریز با ابعاد ۵۰ تا ۷۰۰ میکرومتر طراحی و ساخته شد.برای حرکت دادن و موقعیت دهی قطعات، ارتعاشات مکانیکی در محدوده فرکانس اولتراسونیک توسط سرامیک پیزو، در بستر ویفرایجاد می شود. بعد از شناور شدن قطعات در اثر غلبه ارتعاشات مکانیکی بر نیروهای چسبدگی واندروالس و الکترواستاتیک، قطعه کار در سطح ویفر شناور شده و به طرف دهانه ورودی میکرو فیکسچر هدایت می شود تا در داخل فضای میکرو فیکسچر موقعیت دهی شود.

کلیدواژه‌ها:

میکروفیکسچر، موقعیت دهی دقیق، جابجایی MEMS

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
http://www.civilica.com/Paper-ICME07-ICME07_185.html
کد COI مقاله: ICME07_185

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
حامدی, محسن؛ حامد اسماعیل پور مطلق و محمد بیدهندی، ۱۳۸۴، طراحی و ساخت میکروفیکسچر به روش UV-LIGA، اولین کنفرانس بین المللی و هفتمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید، تهران، دانشگاه تربیت مدرس، http://www.civilica.com/Paper-ICME07-ICME07_185.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (حامدی, محسن؛ حامد اسماعیل پور مطلق و محمد بیدهندی، ۱۳۸۴)
برای بار دوم به بعد: (حامدی؛ اسماعیل پور مطلق و بیدهندی، ۱۳۸۴)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

مقالات مرتبط جدید

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.