کاربرد میکروپمپ در اندازه گیری ابعادی و بررسی حساسیت سنسور میکرو-پمپی در ابزار اندازه گیری قطر داخل

در این مقاله شیوه جدیدی از تکنیک اندازه گیری توسط ترانسدیوسر جریان سیال به کار گرفته شده است. در این طرح از ترکیب یک عملگر میکرو-پمپی و یک میکرو-سنسور فشار به عنوان یک سنجه اندازه گیری (Gauge)، برای اندازه گیری قطر داخلی استفاده شده است. این اندازه گیری بر پایه اصول عملکرد ترانسدیوسر جریان سیال استوار است، با این تفاوت که فشار سیال پس از خروج از نازل و بر روی گیج خوانده می شود. با توجه به کوچکی ابعاد گیج، ویژگی های تکنولوژی MEMS راه گشا می باشد و امکان ساخت و نصب تجهیزات ایجاد جریان سیال و سنسور فشار را فراهم می نماید. در این مقاله به کمک دینامیک سیالات محاسباتی(CFD)، قابلیت میکرو-پمپ جهت تولید جریان و فشار موردنیاز برای اندازه گیری قطر و درجه حساسیت آن بررسی شده و نتایج حاصل ارائه شده است.

کلیدواژه ها:

میکرو-پمپ ، داخل سنج قطر ، سنجه اندازه گیری ابعادی ، سیستم های میکروالکترومکانیکال (MEMS)