اندازه گیری ناهمواری های نانویی سطوح با روش پراکندگی نور لیزر

دراین مقاله بطور تجربی ناهمواری بسیار ریز سطح یک نمونه استیل و یک نمونه سیلیکون به روش پراکندگی از سطح نمونه اندازه گیری شده است اندازه گیری با استفاده از تصویربرداری پرتولیزر که توسط سطح نمونه پراکنده شده است انجام گرفته است دراین روش از تغییرات شدت نور تابیده پس از بازتاب از سطح استفاده می شود با این روش ناصافی های از مرتبه چند نانومتر تا چند ده نانومتر قابل اندازه گیری می باشد نتایج تطبیق خوبی با نتایج اندازه گیری با روش Atomic Force Microscope (AFM) دارد.

کلیدواژه ها:

اندازه گیری ، ناهمواری سطوح ، پراکندگی نور لیزر