ایجاد پوشش نانوساختار TiAlNبه روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما و مقایسه خواص آن با پوشش TiN

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 936

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IMES07_122

تاریخ نمایه سازی: 28 آذر 1392

چکیده مقاله:

هدف از این مقاله، ایجاد پوشش نانوساختار سخت نیترید تیتانیم-آلومینیوم TiAlN(با استفاده از روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسماPACVD(و مقایسه خواص آن با خواص پوشش نانوساختار نیترید تیتانیمTiN(میباشد. ابتدا برای بهبود چسبندگی پوششTiAlNبر زیرلایه فولادیH11 فرایند نیتروژندهی پلاسمایی بهمدت چهار ساعت و سپس پوششدهی میانلایهTiNبه مدت یکساعت اعمال شد. هر دو پوشش نانوساختارTiAlN و TiNبااستفاده از دستگاهPACVDجریان مستقیم پالسی در بسامد، زمان لایهنشانی، دما و جریان ثابت به ترتیب در 11 کیلوهرتز، 211 دقیقه، 485 درجه سانتیگراد و 5 آمپر انجام شد. برای پوششTiAlNترکیب گازهای نیتروژن، هیدروژن و آرگون به ترتیب 51 411 و 1sccmو ترکیب مواد پیشمادهیAlCl3 و 4 TiCl بهترتیب 12 و 2sccmدر نظر گرفته شدند. برای مقایسه خواص، پوشش دیگرTiN با شرایط فوق بر نمونه دیگر اعمال شد. برای ارزیابی پوشش از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان)FE-SEMپراش پرتو ایکسXRD( و ریزسختیسنجی ویکرز مورد استفاده قرار گرفت. نتایج دلالت میکند که بهدلیل تشکیل محلول جامد آلومینیوم در ترکیبTiAlNخواص مکانیکی پوشش نانوساختارTiAlNبه مراتب بهتر از پوششTiNمیباشد. این بهبود خواص مکانیکی پوشش با دو پدیدهی اثر اندازه دانه نانومقیاس و اثر ضریب بافت بلوری قابل توجیه میباشد

کلیدواژه ها:

پوشش نانوساختارTiAlN/فرایند رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسماPACVD(/محلول جامد

نویسندگان

حسن علم خواه

دانشجوی دکترای نانومواد بخش مهندسی مواد دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه تربیت مدرس

امیر عبداله زاده

استاد بخش مهندسی مواد دانشگاه تربیت مدرس

فرزاد محبوبی

دانشیار دانشکده معدن و متالورژی دانشگاه صنعتی امیرکبیر

علیرضا صبورروح اقدم

دانشیار بخش مهندسی مواد، دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه تربیت مدرس

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • علم‌خواه حسن، پایان‌نامه کارشناسی ارشد، ایجاد پوشش نانوساختار TiN بر ...
  • . B. Podgornik, B. Zajec, N. Bay, J. Vizintin, Application ...
  • . K.D. Bouzakis, et al, Cutting with coated tools: Coating ...
  • . C. Mitterer, F. Holler, F. Ustel, D. Heim, Application ...
  • . S. PalDey, S.C. Deevi, Single layer and multilayer _ ...
  • . P.W. Shum, W.C. Tam, K.Y. Li, Z.F. Zhou, Y.G. ...
  • . D.Y. Wang, Y.W. Li, C.L. Chang, W.Y. Ho, Deposition ...
  • . J. Wagner, V. Edlmayr, M. Penoy, C. Michotte, C. ...
  • . I. Shinichiro, K. Masatoshi, H. Takashi, Method for producing ...
  • . S.H. Lee, J.W. Lim, D.K. Lee, Y.H. Han, J.J. ...
  • . D.Y. Wang, C.L. Chang, K.W. Wong, Y.W. Li, W.Y. ...
  • .E.O. Hall, Proc. Phys. Soc. Lond. B64 (1951), 747; J. ...
  • . B. Subramanian, K.Ashok, M .Jayachanran, Applied Surface Science 255 ...
  • نمایش کامل مراجع