CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

بررسی تاثیر هندسه بوته تبخیر بر مورفولوژی و ساختار لایه نازک نیکل لایه نشانی شده به روش MOCVD

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۱۴ | تعداد نمایش خلاصه: ۷ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۸
کد COI مقاله: IMES13_005
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۹۶۸.۶۴ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۱۴ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۱۴ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی تاثیر هندسه بوته تبخیر بر مورفولوژی و ساختار لایه نازک نیکل لایه نشانی شده به روش MOCVD

  طاهره قلی زاده - دانشجوی دکتری مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه صنعتی سهند
  علیرضا اکبری - استاد مهندسی مواد مهندسی سطح - نانو مواد، عضو هیئت علمی دانشکده مهندسی مواد دانشگاه صنعتی سهند
  زهرا مصطفوی - دانش آموخته کارشناسی ارشد مهندسی نانو مواد، دانشگاه صنعتی سهند
  سیروس ابراهیمی - استاد مهندسی شیمی، دانشگاه صنعتی سهند، عضو هیئت علمی دانشکده مهندسی شیمی دانشگاه صنعتی سهند

چکیده مقاله:

در روش لایه نشانی بخار شیمیایی به کمک ترکیبات آلی- فلزی (MOCVD)، جزئیات هندسی راکتور نقش به سزائی در خواص لایه های سنتز شده دارد. در این مقاله تاثیر هندسه و نوع بوته تبخیر مورد استفاده روی ضخامت و خواص لایه های نازک نیکلی مورد بررسی قرار گرفته است. برای این منظور از دو بوته مختلف به صورت قایقک با سطح ویژه 31/2cm2 و استوانه ای با سطح موثر 4/9cm2 برای تبخیر استیل استون نیکل (Ni(C5H7O2)2) به عنوان پیش ماده استفاده شد. ضخامت، مورفولوژی، ترکیب شیمیایی و ساختار فازی لایه های حاصل به ترتیب با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، اسپکتروسکوپی توزیع انرژی (EDS) و تفرق پرتو ایکس (XRD) بررسی شد. نتایج نشان داد که پوششهای حاصل از بوته استوانه ای شکل نسبت به پوشش های حاصل از بوته قایقکی دارای ضخامت، یکنواختی و خلوص بیشتری هستند، به طوریکه در مدت زمان لایه نشانی 40 دقیقه در دمای لایه نشانی 260℃ لایه های نیکل بهترتیب با ضخامت 4 و 2 میکرومتر حاصل میشود. در لایه نشانی با استفاده از منبع تبخیر قایقکی، بعد از رشد یکنواخت، در مراحل پایانی مورفولوژی سطحی با بوجود آمدن جزایر نیکلی همراه میشود. همچنین مطابق الگوهای XRD، کلیه لایه ها با ساختار بلوری با شبکه fcc با جهت گیری ترجیحی نسبی (111) متبلور میشوند.

کلیدواژه‌ها:

بوته تبخیر، فرآیند MOCVD، لایه نازک نیکل، مورفولوژی

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-IMES13-IMES13_005.html
کد COI مقاله: IMES13_005

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
قلی زاده, طاهره؛ علیرضا اکبری؛ زهرا مصطفوی و سیروس ابراهیمی، ۱۳۹۸، بررسی تاثیر هندسه بوته تبخیر بر مورفولوژی و ساختار لایه نازک نیکل لایه نشانی شده به روش MOCVD، هشتمین کنفرانس و نمایشگاه بین المللی مهندسی مواد و متالورژی و سیزدهمین همایش ملی مشترک انجمن مهندسی متالورژی و مواد ایران و انجمن ریخته گری ایران، تهران، انجمن مهندسی متالورژی و مواد ایران -انجمن ریخته گری ایران، https://www.civilica.com/Paper-IMES13-IMES13_005.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (قلی زاده, طاهره؛ علیرضا اکبری؛ زهرا مصطفوی و سیروس ابراهیمی، ۱۳۹۸)
برای بار دوم به بعد: (قلی زاده؛ اکبری؛ مصطفوی و ابراهیمی، ۱۳۹۸)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
نوع مرکز: دانشگاه دولتی
تعداد مقالات: ۳۳۳۶
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

مقالات مرتبط جدید

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.