بررسی بیناب تابشی پلاسمای ایجاد شده با لیزر از فلز قلع و اکسیدهای آن
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۴
سال انتشار: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,991
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC84_046
تاریخ نمایه سازی: 5 اسفند 1385
چکیده مقاله:
در این مقاله به بررسی پلاسمای ایجاد شده از قلع و اکسید های آن توسط لیزر پالسی نئودیمیم یگ می پردازیم . با ثبت بیناب تابشی پلاسمای مذکور، اثرات انرژی پالس لیزر، اندازه لکه ی لیزر ، چگالی قلع و اکسید های آن مورد بررسی قرار می گیرد . با استفاده از یک توان سنج کوچک در ناحیه EUV ، وابستگی شدت تابشی به زاویه ثبت بیناب نسبت به زاویه فرود لیزر بررسی می شود . گستره ی طیفی مورد علاقه از 6 نانومتر تا 22 نانو متر می باشد که در میکرو حکاکی مدار های مجتمع قابلیت کاربرد را دارد
نویسندگان
فرشاد صحبت زاده لنبر
گروه فیزیک دانشگاه مازندران ، دانشکده علوم پایه ، بابلسر
هیروآکی نیشی میورا
دانشگاه اوزاکا،انیستیتو مهندسی لیزر، ژاپن
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :