ساخت سوِراخهای نانو ساختار دو سر باز به کمک نانولوله های کربنی بر روی غشای نازک شده بر روی زیر لایه سیلیسیوم (100)

نانولوله های عمودی بر روی غشای کوارتز به روش DC-PECVD رشد داده شده اند . برای ساخت این غشاء ، ویفر سیلیسیوم با جهت بلوری (100) به صورت نا همسانگرد در محلول 8 مولار KOH زدایش شده است . مخلوطی از گازهای هیدروژن و استیلن برای رشد نانولوله های کربنی استفاده شده و لایه ای از نیکل به عنوان کاتالیست بکار رفته است . نانولوله های حاصل با لایه نشانی اکسید تیتانیوم به روش تبخیر شیمیایی و در فشار اتمسفر، پوشانده شده اند . بعد ازمرحله صیقل دادن و سوزاندن نمونه و پس از برداشتن غشاء ، نانو ساختارهایی با دو سر باز، به دست آمده است . تحلیل SEM برای مطالعة این ساختارهای نانومتری مورد استفاده قرار رفته است .