تعیین مشخصات پلاسمای مگنترونی با استفاده از پروب لانگمیر
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1387
سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,027
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC87_232
تاریخ نمایه سازی: 24 آذر 1388
چکیده مقاله:
پارامترهای پلاسما در تخلیه ی مگنترونی با استفاده از تکنیک تک -پروب اندازه گیری شده است. دمای الکترونی ، چگالی الکترونی در خلأ پایین و در حضور گاز آرگون مورد مطالعه قرار گرفته است . مشاهده گردید که دمای و چگالی الکترونی با کاهش فشار افزایش می یابد.
نویسندگان
سمیه تن آرا
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
سیروس خرم
پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی