مطالعه ی ساختاری لایه های نیترید مولیبدن انباشتی برروی سیلیکان
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1393
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 214
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC93_108
تاریخ نمایه سازی: 5 آذر 1398
چکیده مقاله:
در این تحقیق لایه های نیترید مولیبدن با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی DC برروی زیرلایه های سیلیکان انباشت شده اند. با استفاده از آنالیزهای مختلف مانند XRD و AFM تاثیر میزان نیتروژن در مخلوط گاز آرگون- نیتروژن برروی خواص ساختاری و مورفولوژی سطح لایه ها بررسی شده است. نتایج آنالیز XRD بیانگر آنست که با افزایش میزان نیتروژن در مخلوط گاز ساختار لایه از حالت بلوری به آمورف تغییر کرده است. آنالیز AFM نیز نشان می دهد که مورفولوژی سطح لایه ها شدیدا تحت تاثیر میزان گاز نیتروژن قرار گرفته است.
نویسندگان
بهناز صابونریز
گروه فیزیک دانشگاه آزاداسلامی واحدکرج کرج البرز ایران
فاطمه حاج اکبری
گروه فیزیک دانشگاه آزاداسلامی واحدکرج کرج البرز ایران
علیرضا هژبری
گروه فیزیک دانشگاه آزاداسلامی واحدکرج کرج البرز ایران