محاسبهی پارامتر شبکه و خواص مکانیکی نانوساختارهای سیلیکان متخلخل به وسیله اسکن امگا

روش پراش اشعه ایکس از پرکاربردترین روش های غیرمخرب اندازه گیری تنش است. در این روش، از تغییرات فاصله بین صفحات بلوری به عنوان کرنش استفاده می شود. برای نمونه های سیلیکان متخلخل ساخته شده در زمان های 20 تا 40 دقیقه، مدول یانگ اندازه گیری شد و مشاهده شد از طریق Esi مدول یانگ سیلیکان به میزان آلائیدگی و از طریق Pبه تخلخل بستگی دارد. نتائج نشان داد لایه های سیلیکان با تخلخل بالا مدول یانگ پائین تری دارند و به علت همین ناپایداری مکانیکی استفاده از سیلیکان متخلخل برای بعضی کاربرد ها محدود می شود و به همین دلیل ریشه پواسون نیز با افزایش تخلخل به صورت خطی کاهش می یابد.