بتون مشخصه‌های خروجی رزوناتور خازنی ممزی

سال انتشار: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 693

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISFAHANELEC01_162

تاریخ نمایه سازی: 23 اسفند 1392

چکیده مقاله:

روش‌های ساخت رزوناتور ممزی همساز با تکنولوژی ساخت CMOS می‌باشد و همراه با دیگر عناصر مدار الکتریکی در یک مدار مجتمع ساخته می‌شود. از مزایای رزوناتور ممزی خازنی ( الکترو استاتیک) مصرف توان بسیار کم، تغییرات ناچیز خروجی در شرایط محیطی و دمای مختلف، عدم حساسیت به نویز الکتریکی می‌باشد. مشخصه‌های خروجی رزوناتور میکروالکترو - مکانیکی MEMS نامه‌هایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به‌کاررفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیز خازنی (مدل الکترا استاتیک) تشریح شده است و تصویر پارامترهای مختلف نظری به کیفیت و فرکانس به روش تحلیلی و شبیه‌سازی نشان داد و مقایسه شده‌اند و ساختار جدید ارائه شده است. با استفاده از این نتایج می‌توان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

نویسندگان

عقیل موسوی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل - مازندران

بهرام عزیزالله گنجی

استادیار دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه صنعتی نه شیروانی بابل - مازندران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • S. Pacheco, P. Zurcher, S. Young, D. Weston and W. ...
  • G. Piazza, et al., Dry-released post- CMOS compatible contour-mode aluminum ...
  • for VHFapplica tions, in: Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop, ...
  • J. R. Clark, W.-T. Hsu, and C. T.-C. techniques for ...
  • (Transducers _ Munich, Germany, June 10-14, 2001, pp. 1118-1121. et ...
  • Applications, " J. Appl. Phys., Vol. 99, 2006, 08B309. ...
  • W. Weaver, S. P. Timoshenko, and .H. Young, Vibration Problems ...
  • Blom, F. R., et al., "Dependence of the Quality Factor ...
  • Geometry, " J. Vac. Sci. Tech., Vol. B10, 1992, pp. ...
  • Hosaka, H., K. Itao, and S. Kuroda, "Damping Characteristics of ...
  • V. Kaajakari, T. Mattila, A. Oja, and H. Seppa, "Nonlinear ...
  • of, vol, 13, pp. 715-724, 2004. ...
  • نمایش کامل مراجع