آنالیز حساسیت دامنه میکروکانتیلور پیزوالکتریک غیر همگن در رطوبت های مختلف

میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) ابزاری قدرتمند و پیشتاز در علمنانوتکنولوژی بشمار می آید. مدلسازی هرچه دقیق تر میکروکانتیلور AFMموجب پیش بینی دقیق تر رفتار ارتعاشی آن و بهبود کیفیت تصاویرمی گردد. استفاده ی عملیاتی از یک مدل، مستلزم داشتن دانش کمیحساسیت مدل به تغییرات پارامترهایش می باشد. برای شناسایی رفتارمدل و پارامترهای موثر در آن، می توان از روش های آنالیز حساسیتاستفاده کرد. در این راستا میکروکانتیلور پیزوالکتریک غیرهمگن بر اساستیوری تیر تیموشنکو و با استفاده از روش المان محدود مدلسازی وشبیه سازی شده است و تاثیر پارامترهای محیطی و هندسی موثر بر دامنهارتعاشی کانتیلور مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد کهتاثیر گذارترین پارامتر بر دامنه، فاصله تعادلی نوک پراب می باشد که باافزایش رطوبت محیط حساسیت دامنه به این پارامتر افزایش می یابد.

کلیدواژه ها:

، AFM ، آنالیز حساسیت ، تیموشنکو ، المان محدود