بررسی مکانیزم انتقال جرم در نیتروژن دهی پلاسمایی متداول و مقایسه آن با روش نیتروژن دهی پلاسمایی به روش توری (شبکه) فعال

نیتروژن دهی پلاسمایی به روش توری فعال، یک پدیده جدید در مهندسی سطح بوده که به تازگی توسعه یافته و ضمن برطرف نمودن مشکلات نیتروژن دهی پلاسمایی به روش متداول، پیشرفتهای زیادی را نیزدر این زمینه ارائه نموده است. دراین مطالعه مکانیزم انتقال جرم در روش نیتروژن دهی پلاسمایی متداول با فرآیند نیتروژن دهی پلاسمایی به روش توری فعال مورد بررسی و مقایسه قرار گرفته است. با توجه به تئوری های مختلف، بیان دقیق مکانیزم انتقال ذرات و تشکیل سطوح تاثیر یافته از فرآیند نیتروزن دهی پلاسمایی امکان پذیر نمی باشد. به نظر می رسد در نیتروژن دهی پلاسمایی انتقال نیتروژن عمدتا در اثر بمباران سطح توری با قطعه کار توسط یونهای NH+ و NH2+ باشد. از طرف دیگر آزمایشهای متعدد نشانمی دهند که ذرات عهده دار انتقال نیتروژن در فرآیندهای فوق الذکر می باشند.

کلیدواژه ها:

نیتروژن دهی پلاسمایی ، روش توری فعال ، انتقال جرم ، کندوپاش و رسوب مجدد