تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه

دراین کار تجربی لایه های نازک نیترید به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC بر روی زیرلایه های شیشه ای تحت دمای متفاوت زیرلایه در محدوده 2100-90C و آهنگ شارش ثابت نیتروژن sccm12/5 نوشته شده اند. طیف های پراش پرتو ایکس XRD نشان می دهد که فیلم ها دارای طبیعت چند بلوری هستند و سمت گیری کریستالی فیلم ها با افزایش دمای زیرلایه از (111) به (100) تغییر پیدا می کنند. مقاومت ویژه الکتریکی با افزایش دمای زیرلایه، کاهش می یابد. وابستگی دمای زیرلایه به نرخ نهشت فیلم ها نشان داده شد و علت تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفت.

کلیدواژه ها:

کندوپاش مگنترونی واکنشی ، لایه های نازک نیترید مس ، نرخ نهشت.