بررسی اثر نسبت پیشمادههای کلرید آلومینیوم به کلرید تیتانیم بر ساختار بلوری و سختی پوششهای نانوساختار TiAlN اعمالشده به روش PACVD
محل انتشار: چهاردهمین سمینار ملی مهندسی سطح
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 605
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE14_088
تاریخ نمایه سازی: 9 بهمن 1392
چکیده مقاله:
هدف از این مقاله، ایجاد پوششهای نانوساختار نیترید تیتانیوم- آلومینیوم TiAlN با حضور نسبتهای مختلف یشمادههای TiCl و 4 AlCl و نیز مقایسه ساختار بلوری و سختی آنها میباشد. برای این منظور، پوششها توسط دستگاه DC-PACVD و در شرایط یکسان دمای لایهنشانی، درصد چرخه کار، بسامد و جریان گازی H2/Ar/N2 به ترتیب در 485 سانتیگراد، 33 درصد، 10 کیلوهرتز و 50/150/400 sccm لایهنشانی شدند. برای ارزیابی اثر میزان نسبت پیشمادهها بر خواص پوشش نانوساختار TiAlN نسبتهای (فرمول در متن اصلی مقاله) 1 تا 3 در نظر گرفته شد. برای مطالعه و ارزیابی خواص پوششهای ایجاد شده از دستگاههای پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان، میکروآنالیزگر الکترونی پروبی و ریزسختیسنج استفاده شد. نتایج دلالت میکند که ساختار بلوری و سختی پوششهای نانوساختار TiAlN با حضور نسبتهای مختلف پیشمادهها دچار تغییر میشود. ابتدا انتظار میرفت تا با افزایش نسبت پیشمادهها، بهعلت تشکیل بیشتر محلول جامد، سختی پوشش افزایش یابد. ولی بهدلیل افزایش درصد عنصر کلر در پوشش TiAlN بهینه نسبت پیشمادههای (فرمول در متن اصلی مقاله) برای ایجاد پوشش با سختی مطلوب، نسبت 2 بدست آمد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حسن علمخواه
تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد (دانشجوی دکترای نانومواد)
امیر عبدالهزاده
. تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد (استاد)
فرزاد محبوبی
تهران، دانشگاه صنعتی امیرکبیر، دانشکده معدن و متالورژی (دانشیار)
علیرضا صبور روحاقدم
تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد (دانشیار)
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :