مشخصه یابی ماکروررات در پوشش های نیتریدی رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی

پوشش هایی که با فرایند رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی تولید می شوند، عیوب سطحی مختلفی دارند که برگرفته از ذات این روش پوشش دهی است. در حین تبخیر فلز هدف توسط قوس، قطراتی از مذاب از سطح فلز هدف جدا می شوند و به سمت زیر لایه پرتاب شده و روی سطح نمونه منجمد می شود. قطرات منجمد شده (ماکروذرات) که در شکل و اندازه های متفاوتی ظاهر می شوند، تاثیر زیادی بر خواص سطحی قطعات و آزمون های وابسته به مورفولوژی سطح دارند. در پوشش حاضر، نمونه های از فولاد 1.2080 SPK به عنوان زیر لایه عملیات حرارتی و آماده سازی شد و پوشش سرامیکی چهار جزیی TiSiCN توسط دستگاه صنعتی رسوب فیزیکی بخار به روش قوس کاتدی روی آن ها رسوب داده شد. به منظور بررسی مورفولوژی سطح و آنالیز شیمیایی کل پوشش و ماکروذرات، مطالعات ساختاری بامیکروسکپ الکترونی ربوشی و ریز انالیز طیف سنجی توزیع انرژی انجام گرفت. ماکروذرات از نظر شکل و اندازه متفاوت هستند و یافته های عنصری نشان داد که حضور آن ها در این پوشش عمدتا با افزایش عنصر سیلیسیوم همراه است.

کلیدواژه ها:

رسوب فیزیکی بخار ، قوس کاتدی ، ماکروذرات ، مورفولوژی پوشش