آشنایی با تفنگ های الکترونی در میکروسکوپ های الکترونی روبشی

امروزه میکروسکوپ های الکترونی روبشی به عنوان یکی از ابزارهای بسیار قدرتمند در بسیاری از کاربردها و حوزه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار گرفته است. قدرت و کارایی یک میکروسکوپ الکترونی به طرز چشمگیری به قطر پرتو الکترونی، شدت و توزیع الکترون ها در آن و یکنواختی الکترون ها وابسته است. تفنگ الکترونی نیز به عنوان اولین قسمتی از دستگاه، که در آن مشخصات پرتو الکترونی رقم می خورد، بسیار حائز اهمیت می باشد و از لحاظ مکانیزم به دو دسته تفنگ های انتشار حرارتی و تفنگ های گسیل میدانی تقسیم می شود.تفنگ های انتشار حرارتی عموما در میکروسکوپ های الکترونی روبشی معمولی SEM استفاده می شوند. علیرغم ارزان، در دسترس و قابل اعتماد بودن این نوع از تفنگ های الکترونی، به علت قدرت تفکیک پایین، عملکرد آن ها را در بزرگنمایی بالا محدود می گردد.تفنگ های گسیل میدانی که در میکروسکوپ های الکترونی روبشی گسیل میدانی استفاده می شوند FESEM، امکان تصویربرداری با قدرت تفکیک بالا از انواع مختلف مواد وجود دارد. این تفنگ الکترونی بر پایه تکنولوژی ایجاد تصویر با وضوح بالا و با هدف شناسایی جامع تر انواع نمونه ها به خصوص نمونه هایی که امکان بررسی آن ها در میکروسکوپ های الکترونی معمولی وجود ندارد، نظیر نمونه های مغناطیسی و نمونه های بیولوژیکی که از حساسیت بالایی برخوردار بوده وامکان پوشش دهی نمونه ها نباشد، طراحی شده است.در این مقاله به بررسی انواع تفنگ های الکترونی، مزایا و معایب هر کدام پرداخته شده است.

کلیدواژه ها:

پرتو الکترونی ، فیلمان ، میکروسکوپ الکترونی روبشی ، تفنگ الکترونی انتشار حرارتی ، تفنگ الکترونی گسیل میدانی