مشخصه یابی نانو ساختارها به وسیله ی میکروسکوپ های الکترونی و پروبی- روبشی

میکروسکوپ های الکترونی به دلیل محدودیت میکروسکوپ های نوری در مشخصه یابی نانو ساختارها توسعه یافته اند. در این میکروسکوپ ها از پرتوهای الکترونی پر انرژی برای بررسی مواد در مقیاس بسیار کوچک استفاده می شود. میکروسکوپ های الکترونی قادرند تصویر ریز ساختار ماده را با بزرگنمایی و قدرت تفکیک بسیار بالاتری نسبت به میکروسکوپ های نوری تولید کنند بالا بودن قدرت تفکیک میکروسکوپ های الکترونی به دلیل کوتاه بودن طول موج الکترون های استفاده شده برای نوردهی در این میکروسکوپ ها است. طول موج الکترون ها در میکروسکوپ های الکترونی در حدود 10000 برابر کوچکتر از نور مریی است. نکته ی دیگر در مورد طول موج الکترون ها این است که مقداری ثابت نیست و تابع سرعت الکترون می باشد.