طراحی و ساخت لایه های نازک اپتیکی با نمایه ضخامت متغیر برای تولید آینه های VRM

در این مقاله چگونگی طراحی و ساخت آینه هایی با بازتابندگی متغیر توضیح داده می شود. برای ساختن چنین آینه هایی از یک ماسک ثابت با سوراخ دایره ای استفاده شده است. برای توصیف فرآیند لایه نشانی، روزنه ماسک لایه نشانی به صورت یک چشمه گسترده در نظر گرفته شده است. تابع توزیع ذرات از این روزنه به صورت (θ) cosx توصیف می شود که د پارامتر تابع توزیع ذرات است. پس از مشخص شدن پارامتر x توسط آزمایش، نمودارهایی را می توان رسم کرد که این نمودارها پارامترهای ماسک لایه نشانی را به پارامترهای نمایه لایه نشانده شده روی بستره مربوط می کنند. با استفاده از این نمودارها انواع مختلفی از آینه ها با نمایه ضخامت دلخواه را می توان تولید کرد. در قسمت پایانی این مقاله اثرات خطای اندازه گیری ضخامت لایه ها بر فاز بازتابش و تراگسیل آینه ها مورد بررسی قرار گرفته است.

کلیدواژه ها:

آینه با بازتابندگی متغیر ، لایه نشانی اپتیکی ، فاز تراگسیل ، مد آبر گوسی