طراحی و ساخت شبکه تطبیق امپدانس 13/56 مگاهرتز 600 واتی برای تشکیل پلاسمای فرکانس رادیویی

از آنجایی که محفظه پلاسما از نظر الکتریکی، باری متغیر با زمان محسوب می شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولّد فرکانس رادیویی و محفظه پلاسما از یک شبکه تطبیق امپدانس استفاده شود تا با اندازه گیری یک پارامتر مناسب مانند پارامتر VSWR و اعمال تغییر مناسب بر روی المان های شبکه تطبیق امپدانس، مولّد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود، بار 50 اهم خالص را ببیند. در این فعالیت کار طراحی و ساخت یک شبکه تطبیق امپدانس با قابلیت انتقال توان 600 وات در فرکانس 56 / 13 مگاهرتز برای تطبیق بار الکتریکی محفظه ی پلاسما به امپدانس خروجی مولّد فرکانس رادیویی انجام شده است. در جعبه ی تطبیق امپدانس طراحی شده، از یک شبکه نوع L که شامل دو خازن متغیر و یک سلف ثابت است، به عنوان شبکه تطبیق امپدانس، از یک اندازه گیر VSWR به عنوان حسگر تطبیق، از دو عدد موتور Servo به عنوان عملگر برای چرخاندن خازن های متغیر و از الگوریتم کمینه VSWR به عنوان الگوریتم تطبیق استفاده شده است.

کلیدواژه ها:

جعبه تطبیق امپدانس ، محفظه ی پلاسما ، شبکه نوع L ، اندازه گیر VSWR ، الگریتم کمیته VSWR