CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

Title: Simulation and Optimization of Aluminum Based Touch Mode Micro-Machined Capacitive Pressure Sensors

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۱۲ | تعداد نمایش خلاصه: ۲۸۴ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۴
کد COI مقاله: MAARS01_447
زبان مقاله: انگلیسی
حجم فایل: ۴۱۷.۲۳ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۱۲ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۱۲ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله Title: Simulation and Optimization of Aluminum Based Touch Mode Micro-Machined Capacitive Pressure Sensors

  kianosh Aryantalab - University of Golestan_Faculty of Technical and Engineering _Gorgan
  Yadolah Hezarjaribi - University of Golestan_Faculty of Technical and Engineering _Gorgan

چکیده مقاله:

This paper discusses the Electro-mechanical effects on Aluminum thin film as a diaphragm for MEMS capacitive pressure sensor. This work compares the design of an Aluminum diaphragm based MEMS capacitive pressure sensor as square and round Geometry on the top layer. Aluminum Diaphragm, cavity gap and Al substrate thickness are fixed on 2μm.Width and length of the square geometry are equal to diameter of the round one and fixed on 50μm. The sensor designs were simulated using COMSOL ver5.0 software to compare the diaphragm deflection and electrical energy performance. Both Geometry are designed with the same layout dimensional with same thicknesses of the diaphragm which is 2μm. It is observed that the square diaphragm is better geometry than round one for the similar pressure load. Maximum and Average displacement, Electric potential and effect of diaphragm dimension on capacitance are discusses on the square sensor. Finally a comparison has been made between Aluminum, Silicon and Polysilicon as a material for deflecting membrane. It can be seen that Aluminum in similar condition has more deflection than Si and Polysilicon.

کلیدواژه‌ها:

MEMS, Sensor, Aluminum, Square, Round, Diaphragm, Electric Potential

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-MAARS01-MAARS01_447.html
کد COI مقاله: MAARS01_447

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
Aryantalab, kianosh & Yadolah Hezarjaribi, ۱۳۹۴, Title: Simulation and Optimization of Aluminum Based Touch Mode Micro-Machined Capacitive Pressure Sensors, همایش یافته های نوین در هوافضا و علوم وابسته, تهران, دانشکده علوم و فنون نوین دانشگاه تهران, https://www.civilica.com/Paper-MAARS01-MAARS01_447.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (Aryantalab, kianosh & Yadolah Hezarjaribi, ۱۳۹۴)
برای بار دوم به بعد: (Aryantalab & Hezarjaribi, ۱۳۹۴)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • International Conference on Electronic Devices, Systems and Applications (ICEDSA '10), ...
  • M. Damghanian, "Design and Fabrication of a MEMS Tactile Pressure ...
  • A. C. Zonnevylle, T. Verduin, C. W. Hagen, and P. ...
  • H. Xiao, "Dynamic defocusing in streak tubes? [thesis of laboratory ...
  • Z. Zhang, L. Li, X. Xie, D. Xiao, and W. ...
  • M. V. Kuzelev, G. P. Mkheidze, A. A. Rukhadze, P. ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: ۱۷۵۰
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.