افزایش قابل توجه قدرت تفکیک تیغه ی منطقه ای فرنل بامعرفی ساختارفازی بدیعی ازتیغه ی فرنل
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 579
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MATHPHY02_113
تاریخ نمایه سازی: 30 شهریور 1394
چکیده مقاله:
در این مقاله خواص کانونی و تصویر برداری تیغه ی منطقه ای فرنل با ساختار بدیعی از تیغه ی فرنل، بررسی شده است. به علت محدودیت چاپ در لیتوگرافی برای نوارهای روشن تیغ هی منطقه ای فرنل با پهنای 20 نانومتر)، پهنای نوارهای روشن و ساختار فازی در این قطعه تغییر یافته است. بنابراین با - کوچکتر از ( 40 افزایش شعاع، دیگر محدودیتی از نظر لیتوگرافی وجود ندارد و می توان تا هر مقدار دلخواه ، قطر این قطعه را افزایش داد و در نتیجه قدرت تفکیک هم افزایش قابل توجهی م ییابد. با تغییر پهنا، پرتو گاوسی با پهنای کمتر و بیشینه مرکزی تیزتر حاصل شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
آرش ثباتیان
دانشیارگروه فیزیک دانشکده علوم دانشگاه ارومیه ارومیه
الناز پیرضیائی
دانشجوی کارشناسی ارشد گروه فیزیک دانشکده علوم دانشگاه ارومیه ارومیه