تحلیل ناپایداری و ارتعاشات یک میکرو رزوناتور با در نظر گرفتن جرم گواه گسترده

در این مقاله به بررسی ناپایداری و ارتعاشات یک میکرورزو ناتور پرداخته میشود میکروزوناتور به صورت یک سرگیرد دار باجرم گسترده در انتها ی آن در نظر گرفته شده و از فرضیات مربوط به تیر اولر - برنولی جهت مدلسازی آن استفاده میگردد جرم تحت تاثیر میدان الکترواستاتیک قرار داشته و درنتیجه به این جرم نیروی الکترواستاتیک از طریق اعمال ولتاژ وارد میگردد پس از مدلسازی و حصول معادلات حاکم حل استاتیکی و ارتعاشی انجام میپذیرد و ولتاژ ناپایداری و فرکانس طبیعی میکرورزوناتور محاسبه میشود نتایج مربوطه در جهت جرم گسترده با جرم گسترده با جرم متمرکز مقایسه شده و خطای ناشی از فرض متمرکز بودن آن بررسی میگردد

کلیدواژه ها:

میکرورزوناتور ، ناپایداری استاتیکی ، فرکانس طبیعی ، جرم گسترده ، نیروی الکترواستاتیک