بهینه سازی توزیع ضخامت لایه های نازک ناتومتری روی سیگمنت های کروی با استفاده از شبیه سازی مونت کارلو و مقایسه آن با نتایج تجربی

بازده انباشت فیلم های نازک بر روی بستره های شیشه ای یک سیگمنت کروی به کمک شبیه سازی رایانه ای و روش مونت کارلو مورد مطالعه قرار گرفته است. انباشت لایه های نازک با عواملی چون آهنگ تبخیر، دمای بستره ها و شرایط هندسی حاکم بر سیستم لایه نشانی بشدت تغییر می کند. در این کار ابتدا فرایند انباشت این لایه ها شبیه سازی شده، تویع ضخامت محاسبخ شده با نتایج تجربی مقایسه گردیده و سرانجام با طراحی حفاظ مناسب ، یکنواختی ضخامت حاصل شده است.

کلیدواژه ها:

لایه نشانی ، توزیع ضخامت ، یکنواختی ، روش مونت کارلو