کنترل موقعیت در ابعاد نانو/میکرو بر پایه عملگر پیزوالکتریک بروش مد لغزشی اصلاح شده

در این تحقیق شبیه سازی و کنترل سیستم تعیین موقعیت در ابعاد نانو/میکرو ارائه می شود. در این سیستم از عملگر پیزوالکتریک برای ایجاد موقعیت استفاده شده که برای شبیه سازی رفتار این عملگر از مدل الکترومکانیکی استفاده شده است. مدل هیسترزیس ، خزش ، اثرات نیرو های خارجی و اثرات حرارتی در مدل شبیه ساز عملگر تاثیر داده شده است . برای حذف عوامل غیر خطی کننده در عملگر و عدم قطعیت در مدل سازی پیزوالکتریک از کنترل کننده مد لغزشی اصلاح شده ، استفاده شده است. در نهایت با استفاده از این کنترل کننده ، سیستم مسیر مطلوب را دنبال می کند.