افزایش تغییرات بازه ظرفیت خازن با استفاده از تکنولوژیMEMS
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 546
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCECN01_072
تاریخ نمایه سازی: 7 بهمن 1393
چکیده مقاله:
در این مقاله یک خازن میکروالکترومکانیکی (MEMS) شانه دار جدید با بازه تغییرات ظرفیت خازنی وسیع ارائه شده است. در این مقاله جهت رفع مشکل پولین از روش صفحه ی پله دار و جهت افزایش بازه تغییرات خازن از صفحات خازنی شانه دار استفاده شده است. ساختار خازنی جدید دارای غشایی از جنس پلی سیلیکون می باشد. ظرفیت خازن برای ساختار های خازنی با صفحات صاف و صفحه ی پله دار و صفحات شانه ای شبیه سازی شده است و بازه ی تغییرات ظرفیت خازن در ساختار شانه ای نسبت به صفحه ی پله ای 78.9% افزایش یافته است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نسیم امانی
دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر،گروه برق و الکترونیک
بهرام عزیز اله گنجی
استادیار- دانشگاه فنی نوشیروانی بابل
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :