CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)
عنوان
مقاله

معرفی رزوناتورها وارائه روشی به نام افزایش تغلیظ برای کاهش حساسیت MEMS رزوناتورها نسبت به تغییرات دما.

اعتبار موردنیاز PDF: ۱ | تعداد صفحات: ۱۰ | تعداد نمایش خلاصه: ۳۸۵ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۳
کد COI مقاله: NCECN01_284
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۴۴۱.۴۳ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۱۰ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

متن کامل این مقاله دارای ۱۰ صفحه در فرمت PDF قابل خریداری است. شما می توانید از طریق بخش روبرو فایل PDF این مقاله را با پرداخت اینترنتی ۳۰,۰۰۰ ریال بلافاصله دریافت فرمایید
قبل از اقدام به دریافت یا خرید مقاله، حتما به فرمت مقاله و تعداد صفحات مقاله دقت کامل را مبذول فرمایید.
علاوه بر خرید تک مقاله، می توانید با عضویت در سیویلیکا مقالات را به صورت اعتباری دریافت و ۲۰ تا ۳۰ درصد کمتر برای دریافت مقالات بپردازید. اعضای سیویلیکا می توانند صفحات تخصصی شخصی روی این مجموعه ایجاد نمایند.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل PDF مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۱۰ صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله معرفی رزوناتورها وارائه روشی به نام افزایش تغلیظ برای کاهش حساسیت MEMS رزوناتورها نسبت به تغییرات دما.

سید فخرالدین نبوی - دانشجوی کارشناسی ارشد رشته الکترونیک دانشگاه Ozyeginو پژوهشگر موسسه TUBITAK،استانبول،ترکیه.

چکیده مقاله:

امروزه که MEMS رزوناتورها جایگاه وسیعی در وسایل الکتریکی و الکترونیکی باز کرده اند به دلیل ابعاد بسیار کوچک آنها (میکرو متر)و استفاده از سیلیکون تک کیریستالی در ساختار ان ها،این رزوناتورها بسیار به دما حساس می باشند به نحوی که با افزایش دما شکل آنها از حالت استاندارد و طراحی شده خارج می شود،در همین راستا آنان قادر به تولید فرکانسی که برای ان طراحی شده اند،نبوده و شاهد شیفت فرکانسی می باشیم.در این مقاله سعی بر توصیف روشی شده است که با اضافه کردن فسفر بر سطح این رزوناتورها خاصیت فیزیکی سیلیکون تغییر نموده و در برابر افزایش دما مقاومت می نماید. به عبارت دیگر می توان گفت با این روش می توان به رزوناتورهای قابل اعتمادتری در برابر تغییرات دما رسید که در انها شیفت فرکانسی به حداقل رسیده است.

کلیدواژه‌ها:

رزوناتور ، MEMS resonator، پیزوالکتریک ، ضریب کیفیت ، حساسیت، Young’s module ،مدول الاستیسیته

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-NCECN01-NCECN01_284.html
کد COI مقاله: NCECN01_284

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
نبوی, سید فخرالدین، ۱۳۹۳، معرفی رزوناتورها وارائه روشی به نام افزایش تغلیظ برای کاهش حساسیت MEMS رزوناتورها نسبت به تغییرات دما.، اولین همایش ملی مهندسی برق و کامپیوتر در شمال کشور، بندر انزلی، موسسه آموزش عالی موج، https://www.civilica.com/Paper-NCECN01-NCECN01_284.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (نبوی, سید فخرالدین، ۱۳۹۳)
برای بار دوم به بعد: (نبوی، ۱۳۹۳)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • _ A. Pomarico, A.Morea, P. Flora, G. Roselli, and E. ...
  • Beeby, Steve. 30 April 2004;MEMS Mechanical Sensors ', Book, Artech ...
  • Campanella, Humberto. ; 9 March 2010;:FBAR, MEMS and NEMS Resonator ...
  • Ciyuan Qiu, Jie Shu, Zheng Li Xuezhi Zhang, and Qianfan ...
  • H. Nathanson, W. E. Newell, R. A. Wickstrom, and J. ...
  • J. Bouchaud and B. Knoblich, ;2006;"Has the time come for ...
  • Joan Giner _ Arantxa Uranga , Eloi Marigo _ Jose ...
  • K.P. Padhye, October 2008; Modelling, 'Analysis and Design of a ...
  • Karl M.Stroh", Franz Josef Sehmiickle, Bemd Schauwecker', Johann-Friedr ch Luy', ...
  • Matthew A. Hopcroft, September 2007;" T EMP ERATURE- STABILIZED SILICON ...
  • _ R. S. Penciu1, K. Aydin2, M. Kafesaki1, Th. Koschny1, ...
  • R.M.C. Mestrom, R.H.B. Fey, J.T.M. van Beek, K.L. Phan , ...
  • S. Sherrit, V. Olazabal, J.M. Sansinena, X. Bao, Z. Chang, ...
  • S.P. Beeby, N.M. White, 2001 ; Silicon micromechan cal resonator ...
  • Shirin Ghaffar _ ChaeH. Ahn, EldwinJ.Ng, ShashaWang , ThomasW .Kenny, ...
  • T.W. Schneider, G.C. Frye, S.J. Martin, J.J. Spates, 1995; Investigation ...
  • Ville Kaajakari, 2011;Theory and Analysis of MEMS resonators ', international ...
  • W. A. Marrison, 1948; "Evolution of quartz crystal clock, " ...
  • W. G. Cady, 1922;"The Piezo-Electric Resonator, " Proceedings of the ...
  • Wan-Thai Hsu, 2008; "RECENT PROGRESS IN SILICON MEMS OS CILLATORS ...
  • Xiaojun Yana, Mingjing Qia, Liwei Lin, 2013; An autonomous impact ...
  • Y. Civet, F. Casset, J.F. Carpentier, S. Basrour., 2012; Numerical ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.