اثرات آب برروی رفتار و خواص سیلیکون مورد استفاده در ساختار سیستم های الکترو مکانیکی (MEMS)
محل انتشار: کنفرانس ملی مهندسی مکانیک ایران
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 620
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCMII01_289
تاریخ نمایه سازی: 22 اردیبهشت 1393
چکیده مقاله:
سیلیکون ماده ای است که در بیشتر سیستم های الکترو مکانیکی (mems) مورد استفاده قرار می گیرد از اینرو رفتارهای سیلیکون درتماس با اب ، هوا و رطوبت در این تحقیق مورد بررسی شده است .در قسمت اول قدرت شکست سیلیکون در آب بررسی شده وبه کمک AFM و تصاویر ان در مقیاس میکرونی و مقایسه ساختار SI-O-SI قبل وبعد از تماس با اب نشان دهنده ی ان است که ساختار دچار دگردیسی شده است و در قسمت دوم رفتار ساختار پوشش SI/SIO2 در اب وهوا بررسی شده است در ابتدا با تغییر نیرو از 3-1 میکرون و تغییر چرخه از N=1- N= 100 شکاف پوشش در هوا برای تغییر چرخه از 8- 0.07 نانو متر و برای اب تقریبأ بعد از چند چرخه در 0.25 نانو متر ثابت باقی می ماند و نیز برای هوا از8.3 – 3.1 میکرون و دراب 2.4 میکرون ثابت می ماند و همچنین همین شرایط نیز برای اکسیژن و نیتروژن خالص و هوای خشک انجام شده است که نتایج نشان میدهد که در تماس با اکسیژن پوشش دارای شکاف بیشتری است و این بدلیل تشکیل پیوند SI-O-SI بهتری است که ایجاد می شود و در نهایت نتایج این رفتارها ذکر شده است
کلیدواژه ها:
نویسندگان
یونس امین
دانشجوی کارشناسی ارشد طراحی کاربردی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد نجف آباد،
مجتبی کلاهدوزان
استادیار، عضو هیئت علمی دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد نجف آباد،
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :