تاثیر زمان بازپخت روی خواص لایه های مس تهیه شده توسط روش کندوپاش مغناطیسی DC

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,135

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NCNN01_176

تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391

چکیده مقاله:

دراین تحقیق تاثیر زمان بازپخت روی خواص لایه های مس تهیه شده توسط روش کندوپاش مغناطیسی DC مورد بررسی قرارگرفت لایه های نازک مس برروی زیرلایه های سیلیکان دریک شرایط ثابت توسط کندوپاش مغناطیسی مسطح به کمک جریان مستقیم Dc انباشت شد سپس لایه های مس انباشت شده درزمان های متفاوت تحت اتمسفر هوا بازپخت شد اثر زمان بازپخت را برروی ساختار مورفولوژی و خواص الکتریکی لایه های نازک مس درزمان های متفاوت بازپخت مورد بررسی قراردادیم ساختار لایه های نازک مس با استفاده از پراش اشعه x مورد ارزیابی قرار گرفت طرح پراش اشعه x از لایه های نازک مس پس از بازپخت نشان میدهد فاز CuO) درراستای کریستالی 111 غالب است همچنین مورفولوژی سطح با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی AFM مورد مطالعه قرارگرفت. بازپخت نمونه ها در زمان های متفاوت رشد لایه به صورت کپه ای شده و زبری سطح افزایش یافته است.

نویسندگان

معصومه نجارصادقی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج دانشکده علوم گروه فیزیک

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • B.Balamurugan and B R Mehta Thin Solid Films, 396(1-2), 2001 ...
  • Mafalda Guedes and Jose M.F. Ferreira and Alberto _ Ferro, ...
  • Wenzhao Jia and Eliot Reitz and Hui Sun and Heng ...
  • Ting-Jen Hsueh and Cheng-Liang Hsu and Shoou-Jinn Chang and Pei- ...
  • Masoud Salavati-Niasar and Fatemeh Davar, Materials Letters, 63 (2009) 441-443. ...
  • S.P. Sharma, J. Vac. Sci. Technol. 16 (1979) 1557. ...
  • Y.C. Zhou, J.A. Switzer, Mater. Res. Innov. 2 (1998) 22. ...
  • J.H. Ho, R.W. Vook, Phila. Mag. 36 (1997) 105. ...
  • T. Maruyama, Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 4099. ...
  • R. Kita, K. Kawaguchi, T. Hase, T. Koga, R. Itti, ...
  • J.F. Pierson, D. Wiederkehr, A. Billard, Thin Solid Films 47 ...
  • N. Kikuchi, K. Tanooka, Thin Solid Films 486 (2005) 33. ...
  • T. Maruyama, Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 4099. ...
  • نمایش کامل مراجع