تاثیر دمای زیر لایه در شبیه سازی رشد نانو ساختارها با روش رونشست مایل

در این مقاله مرحله هسته بندی و رشد حجمی نانو ساختار لایه نشانی شده با استفاده از روش زاویه مایل شبیه سازی شده است. در مرحله هسته بندی و رشد حجمی اثر تغییرات یکی از مهمترین پارامترهای رشد یعنی دمای زیرلایه برای نانو ساختارها بررسی شده است. در دماهای پایین به دلیل وجود پدیده پخش سطحی و تحرک پذیری ذرات، رشد ذرات بصورت ساختارهای ستونی باریک و جدا از هم دیده می شوند.

کلیدواژه ها:

مدل منطقه ای ساختار ، دما ، سایه اندازی ، پخش سطحی