بررسی خواصساختاری و نوری لایه نازک آلومینا تهیه شده بروشکندوپاش مغناطیسی جریان متناوب

در این تحقیق، لایه نازک آلومینا به روش کندوپاش مغناطیسی جریان متناوب روی زیرلایههای شیشه ای انباشت شده و اثرتغییر نسبت گاز واکنشی اکسیژن به گاز آرگون روی خواص اپتیکی و ساختاری نمونههای مختلف مورد مطالعه قرار گرفته است. برای انجام آن، نمونه ها با دستگاههای Ellipsometer و Spectrophotometer ،RBS آنالیز شده اند. نتایج نشان میدهد که با تغییر نسبت اکسیژن، ضخامت لایه ، خواصساختاری و نوری لایهها تغییر می یابند.

کلیدواژه ها:

آلومینا ، کندوپاشمغناطیسی ، طیف نوری ، پسپراکندگی رادرفورد