مطالعه ناهمواری های سطحی لایه های نازک مس الکتروانباشت شده

در این پژوهش لایه های نازک مس بر روی زیر لایه طلا انباشت داده می شود. در این مقاله اثر چگالی جریان انباشت وضخامت بر روی ناهمواری های سطحی لایه های نازک مس بررسی می شود. با بررسی ناهمواری های سطحی لایه ها به وسیلهمیکروسکوپ نیروی اتمی و ناهمواری های سطحی برحسب طول اسکن، نوع و چگونگی ناهمواری های سطحی مشخص گردید.همچنین از میکروسکوپ الکترونی روبشی برای بررسی مورفولوژی سطح لایه ها استفاده و برای بررسی چگونگی ساختار لایهها از پراش اشعه ایکس استفاده شد.