سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی
محل انتشار: اولین همایش ملی فن آوری در مهندسی کاربردی
سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 289
فایل این مقاله در 12 صفحه با فرمت PDF و WORD قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCTAE01_059
تاریخ نمایه سازی: 11 مرداد 1396
چکیده مقاله:
در این مقاله دو سنسور فشار میکروالکترومکانیکی مبتنی بر تکنولژی MEMS گزارش می شود. ابعاد این ساختارها برابر 20μm *20μm *400μm است. اما ابعاد غشاهای آن برای تولید مد موجی برابر 2μm *20μm *200μm می باشد به عبارتی ضخامت غشا μm 2 است. مد موجی سنسور دو غشایی تحت اعمال فشار 600Mpa0 جابجایی فرکانسی 2/18MHz را دارا می باشد اما سنسور فشار تک غشایی میکروالکترومکانیکی تحت همان اعمال فشار جابجایی فرکانسی معادل 2/75MHz را دارد. فرکانس ارتعاش مد موجی بیست و ششم در سنسور فشار میکرو الکترومکانیکی تک غشایی 120/99MHzو در سنسور فشار دو غشایی 118/29MHZ است. این سنسورها در نرم افزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده اند.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حسن کمالی
دانشجوی گروه الکترونیک،دانشکده فنی مهندسی، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی،بندرعباس،ایران
فرشاد بابازاده
استادیار گروه الکترونیک،دانشکده مهندسی برق،واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری،دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :