سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مدی

سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 289

فایل این مقاله در 12 صفحه با فرمت PDF و WORD قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NCTAE01_059

تاریخ نمایه سازی: 11 مرداد 1396

چکیده مقاله:

در این مقاله دو سنسور فشار میکروالکترومکانیکی مبتنی بر تکنولژی MEMS گزارش می شود. ابعاد این ساختارها برابر 20μm *20μm *400μm است. اما ابعاد غشاهای آن برای تولید مد موجی برابر 2μm *20μm *200μm می باشد به عبارتی ضخامت غشا μm 2 است. مد موجی سنسور دو غشایی تحت اعمال فشار 600Mpa0 جابجایی فرکانسی 2/18MHz را دارا می باشد اما سنسور فشار تک غشایی میکروالکترومکانیکی تحت همان اعمال فشار جابجایی فرکانسی معادل 2/75MHz را دارد. فرکانس ارتعاش مد موجی بیست و ششم در سنسور فشار میکرو الکترومکانیکی تک غشایی 120/99MHzو در سنسور فشار دو غشایی 118/29MHZ است. این سنسورها در نرم افزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده اند.

نویسندگان

حسن کمالی

دانشجوی گروه الکترونیک،دانشکده فنی مهندسی، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی،بندرعباس،ایران

فرشاد بابازاده

استادیار گروه الکترونیک،دانشکده مهندسی برق،واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری،دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Nathanson HC, Newell WE, Wickstrom RA, Davis JR, The resonant ...
  • Nguyen CTC, MEMS technology for timing and frequency control. IEEE ...
  • Taylor JT, Huang, Q CRC Handbook of Electrical Filters. CRC ...
  • Lee JEY, Seshia AA 5.4-MHz single-crystal silicon wine glass mode ...
  • Wang J, Ren Z, Nguyen CTC 1.156-GHz self-aligned vibrating m ...
  • Lucyszyn S Review of radio frequency m i croe lec ...
  • W. P. Eaton, et. al., _ Mic romachined pressure Sensors: ...
  • C. F. Chiang, et. al., "Resonant pressure sensor with onchip ...
  • R. Tabrizian and F. Ayazi, _ _ Acoustically -Engineered multi-port ...
  • W. K. Blake, "The radiation from free-free beams in air ...
  • نمایش کامل مراجع