CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)
عنوان
مقاله

طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا

اعتبار موردنیاز: ۱ | تعداد صفحات: ۳ | تعداد نمایش خلاصه: ۱۲۷۷ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۸۵
نوع ارائه: شفاهی
کد COI مقاله: NCV02_006
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۲۰۰.۴۲ کلیوبایت
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اصل مقاله فوق در بانک مقالات سیویلیکا موجود نیست. مقالات کنفرانس‌های کشور توسط دبیرخانه‌های مربوط منتشر می‌شوند و در صورتی که اصل مقاله توسط دبیرخانه منتشر نشده باشد، امکان ارائه آن توسط سیویلیکا وجود ندارد. در صورتی که نویسنده این مقاله هستید، می‌توایند اصل مقاله را جهت درج در بانک مقالات به سیویلیکا ارسال نمایید.

خرید و دانلود PDF مقاله

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

مشخصات نویسندگان مقاله طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا

  داود کلهر - دانشکده فیزیک، دانشگاه علوم پایه دامغان
  فرهاد ایمانی - مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
  وحید مساحتی - مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران

چکیده مقاله:

در این مقاله که در سه بخش ارائه م یشود ابتدا خلاصه مطالعات انجام شده برروی چشم ههای یونی توضیح داده شده و سپس چگونگی طراحی یک چشمه یون مناسب برای فرآین دهای لای هنشانی، تشریح گردیده است. در بخش سوم آزمایش های ی که به منظور بررسی کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی برای تولید یون اکسیژن انجام شده توضیح داده شده است. لای ههای نازک اپتیکی In2O و 3 Ti2O 3 در حضور یون اکسیژن تهیه و خواص مکانیکی و اپتیکی آنها بررسی شده که مؤید کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی می باشد

کلیدواژه‌ها:

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-NCV02-NCV02_006.html
کد COI مقاله: NCV02_006

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
کلهر, داود؛ فرهاد ایمانی و وحید مساحتی، ۱۳۸۵، طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا، دومین کنفرانس ملی خلاء، مشهد، انجمن فیزیک ایران، دانشگاه فردوسی مشهد، https://www.civilica.com/Paper-NCV02-NCV02_006.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (کلهر, داود؛ فرهاد ایمانی و وحید مساحتی، ۱۳۸۵)
برای بار دوم به بعد: (کلهر؛ ایمانی و مساحتی، ۱۳۸۵)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • L.K.Pulker, Surface and Coating Technology 1 12(1999)250-256 ...
  • H. Kuster & J. Ebert ; Activated Reactive Evaporation of ...
  • افرامیان، عطاءالله؛ لامعی رشتی، محمد؛ «استفاده از یونهای سریع در ... (مقاله کنفرانسی)
  • پیروان، حمید؛ موسوی بهبهانی، سید علی؛۱ تجزیه مواد با استفاده ... (مقاله کنفرانسی)
  • J. L. Vossen, W. Kern; Thin Films Processes, pages 175-180 ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز:
    تعداد مقالات: ۱۱۴۲
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.