طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا
محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,900
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV02_006
تاریخ نمایه سازی: 20 بهمن 1385
چکیده مقاله:
در این مقاله که در سه بخش ارائه م یشود ابتدا خلاصه مطالعات انجام شده برروی چشم ههای یونی توضیح داده شده و سپس چگونگی طراحی یک چشمه یون مناسب برای فرآین دهای لای هنشانی، تشریح گردیده است. در بخش سوم آزمایش های ی که به منظور بررسی کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی برای تولید یون اکسیژن انجام شده توضیح داده شده است. لای ههای نازک اپتیکی In2O و 3 Ti2O 3 در حضور یون اکسیژن تهیه و خواص مکانیکی و اپتیکی آنها بررسی شده که مؤید کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی می باشد
نویسندگان
داود کلهر
دانشکده فیزیک، دانشگاه علوم پایه دامغان
فرهاد ایمانی
مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
وحید مساحتی
مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :