مطالعه تاثیر کاشت یونی بر ساختار بلوری و مورفولوژی سطح تک بلور سیلیسیم

در این مقاله آسیب بلوری ایجاد شده بر اثر کاشت ناخالصی ژرمانیوم با دو دوز و انرژی متفاوت در تک بلور سیلیسیم بررسی شده است. دز و انرژی ناخالصی های ژرمانیوم کشت شده در سیلیسیم عبارت است از: atom/cm2 10 به توان 15 با انرژی 3keV و atoms/cm2 5 ضربدر 10 به توان 16 با انرژی 100keV. آسیب بلوری ایجاد شده، با استفاده از تکنیک RBS-Channeling بررسی و پروفایل اتم های سیلیسیم جابجا شده از مکان شبکه ای خود بر حسب عمق، بعد از کاشت یونی به دست آمده است. همچنین اثر بازپخت حرارتی بر ترمیم شبکه بلوری سیلیسیم نیز مطالعه و بررسی شده است. علاوه بر این مورفولورژی سطح بلور سیلیسیم در جهت (100) که با یون های زرمانیوم کاشت شده است. با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) قبل از بازپخت حرارتی مورد بررسی قرار گرفته است.