مطالعه پاسخ فرکانسی رزوناتور میکروتیر در اثر اعمال تنشهای پسماند و محوری

دراین مقاله پاسخ فرکانسی یک میکرو رزوناتور تیر دو سردرگیر MEMS مورد مطالعه قرار گرفته است به خاطر غیرخطی بودن و پیچیدگی های معادلات بدست آمده حل تحلیلی آنها بسیار وقت گیر می باشد بنابراین معادله دیفرانسیلی بدست آمده با استفاده از روش گلرکین براساس مدل کاهش مرتبه قابل حل خواهد بود. همچنین اثرات مختلف تنشهای پسماندو تنشهای محوری براساس ولتاژ DC برروی فرکانس طبیعی میکرو رزوناتور بررسی شده اند نتایج به دستآمده پاسخ فرکانسی سیستم را به ازا یک تحریک سیینوسی مورد مطالعه قرار داده اند که مشاهدات بدست آمده نشان داد که وجود میرایی در سیستم باعث کاهش دامنه ارتعاشی سیستم می شود و نیز ملاحظه گردید که با اعمال نیروهای مثبت به سیستم اعم از نیروهای پسماند مثبت و نیروهای محوری نمودار پاسخ فرکانسی سبب افزایش فرکانس طبیعی به سمت راست شیفت می یابد و برعکس همچنین ملاحظه گردید که بااعمال نیروهای مثبت که منجر به افزایش سفتی سیستم می گردد دامنه نوسانات کاهش و با اعمال نیروهای منفی که منجر به کاهش سفتی سیستم می گردد دامنه نوسانات افزایش می یابد.