بررسی ساختار سطح لایه های نازک اکسد ایندیوم قلع

دراین تحقیق لایه های نازک اکسید ابندیوم قلع (ITO) با ضهامت 50nm به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی بستره شیشه ای در دمای اتاق تهیه شده اند. لایه ها پس از انباشت در گستره دماهای 450-200 درچه سانتی گراد در مجاورت هوا به مدت یک ساعت حرارت داده شده اند. تاثیر حرارت دهی بر ساختار لایه ها و نیز مورفولوژی سطح لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج اندازه گیری های میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM) تغییر ناهمواری سطوح لایه ها بر اثر حرارت دهی را نشان می دهند. نتایج حاصل از گرته های XRD نیز تغببر ساختار لایه های آمورف (بی شکل) به فاز بلوری را تایید می کنند. قله شدت بیشینه با جهت گیری ترجیهی صفحه (222) در زاویه 2ѳ=30.5 درجه اتفاق می افتد و سایر قله ها در صفحات (211)(400)(440) و (622) مشاهده شدند.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، حرارت دهی ، اکسید ایندونیوم قلع