CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)
عنوان
مقاله

بررسی روش‌های لایه نشانی و اصلاح سطوح

اعتبار موردنیاز PDF: ۰ | تعداد صفحات: ۱ | تعداد نمایش خلاصه: ۵۶۲ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۲
نوع ارائه: پوستر
کد COI مقاله: PHYSICS01_019
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۳۱۸.۷۳ کیلوبایت
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

متن کامل این مقاله منتشر نشده و درپایگاه سیویلیکا موجود نمی باشد.

منبع مقالات سیویلیکا دبیرخانه کنفرانسها و مجلات می باشد. برخی از دبیرخانه ها اقدام به انتشار اصل مقاله نمی نمایند. به منظور تکمیل بانک مقالات موجود، چکیده این مقالات در سایت درج می شوند ولی به دلیل عدم انتشار اصل مقاله، امکان ارائه آن وجود ندارد.

خرید و دانلود فایل PDF مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی روش‌های لایه نشانی و اصلاح سطوح

مرضیه علائی سامانی -

چکیده مقاله:

ساخت لایه نازک یا همان لایه نشانی را می‌توان قابلیت کنترل اتم‌ها از منبع تا سطح زیر لایه تعریف کرد. دو نوع فرآیند اساسی لایه نشانی فیزیکی و شیمیایی در تهیه لایه‌های نازک وجود دارد. امروزه روش‌های گوناگونی برای لایه نشانی به کار می رود. در این مقاله سعی شده است روش‌های اساسی ساخت لایه‌های نازک به اختصار توضیح داده شود. لایه نشانی فیزیکی، براساس آثار کاملاً فیزیکی صورت می‌گیرد و شامل لایه نشانی تبخیر فیزیکی PVD کندوپاش می‌باشد. روش تبخییر فیزیکی شامل حرارتی، فرسایش لیزری، باریکه‌ی الکترونی و برآرایی باریکه‌ی مولکولی MBE می‌باشد. روش کندوپاش نیز شامل RF,DC و ماگنترون است. در مقابل، روش لایه نشانی بخار شیمیایی CVD تکیه بر گازهایی دارد که واکنش‌زا می‌باشند و مواد تشکیل دهنده‌ی ماده مورد نظر را به طرف سطح زیر لایه حمل می‌کنند آن‌ها با گازهای دیگر واکنش می‌دهند یا به طور مداوم به محصولات واکنش پایدار پاشیده می‌شوند که روی زیر لایه، لایه نشان می‌شوند. در اتاقک واکنش، عوامل واکنش زا در گاز حامل در سرتاسر زیرلایه جریان می‌یابند و یک واکنش شیمیایی یا مجموعه‌ای از واکنش‌ها رخ می‌دهند. درنتیجه انرژی به وسیله تعدادی منبع خارجی ، از قبیل دستگاه‌های تولید گرما یا تخلیه پلاسما تأمین می‌شود. چون محصولات خروجی از این فرایند اغلب سمی یا خورنده هستند، در نیتجه اغلب، روش‌های مخصوصی برای حصول اطمینان از غیر مخرب بودن مواد خروجی، برای محیط زیست مورد نیاز است.

کلیدواژه‌ها:

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-PHYSICS01-PHYSICS01_019.html
کد COI مقاله: PHYSICS01_019

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
علائی سامانی, مرضیه، ۱۳۹۲، بررسی روش‌های لایه نشانی و اصلاح سطوح، اولین همایش منطقه ای فیزیک جام (جامد، اتمی، محض)، اهواز، دانشکده فنی و حرفه ای سما اهواز، https://www.civilica.com/Paper-PHYSICS01-PHYSICS01_019.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (علائی سامانی, مرضیه، ۱۳۹۲)
برای بار دوم به بعد: (علائی سامانی، ۱۳۹۲)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.