CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

Prediction of Squeeze-Film Damping Effects on a Rectangular Micro-Plate in the Free Molecule Regime Due to Modified Reynolds Equation

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۶ | تعداد نمایش خلاصه: ۳۹۷ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۴
کد COI مقاله: REGCMAES02_042
زبان مقاله: انگلیسی
حجم فایل: ۱۷۶.۷۲ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۶ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۶ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله Prediction of Squeeze-Film Damping Effects on a Rectangular Micro-Plate in the Free Molecule Regime Due to Modified Reynolds Equation

  Emran Khoshrouye Ghiasi - M.Sc. Student of Mechanical Engineering, Ferdowsi University of Mashhad, Iran

چکیده مقاله:

Damping in microelectromechanical systems (MEMS) is critical for device design, simulation and material properties. Oscillating MEMS devices include a plate like structure that oscillates out of plane and generally normal to fixed substrate. These structures have a trapped film between the structure and the fixed substrate either by design or by partial vacuum packing. Thetrapped air behaves as squeeze-film which results from the reciprocal normal movement of two parallel solids. This paper proposes prediction of squeeze-film damping effects on a rectangular micro-plate in the free molecule regime due to modified Reynolds equation. The validity of the free molecule regime depends on the Knudsen number (Kn), which is haracterized as the ratio of the mean free path of the gas molecule to the characteristic length of the flow. Moreover, the experimental results are compared to analytical models for calculating the damping coefficient in different pressure. The final results exhibit that the proposed experimental results are reliable for simulating a rectangular micro-plate in the free molecule regime. In addition, results demonstrate that the present model has a good agreement with analytical models for receiving damping coefficient of the micro-structure.

کلیدواژه‌ها:

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), Squeeze-film damping, Reynoldsequation, Analytical models, micro-plate, Damping coefficient

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-REGCMAES02-REGCMAES02_042.html
کد COI مقاله: REGCMAES02_042

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
Khoshrouye Ghiasi, Emran, ۱۳۹۴, Prediction of Squeeze-Film Damping Effects on a Rectangular Micro-Plate in the Free Molecule Regime Due to Modified Reynolds Equation, دومین همایش ملی ریاضیات و کاربردهای آن در علوم مهندسی, ساری, دانشگاه آزاد اسلامی واحد جویبار, https://www.civilica.com/Paper-REGCMAES02-REGCMAES02_042.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (Khoshrouye Ghiasi, Emran, ۱۳۹۴)
برای بار دوم به بعد: (Khoshrouye Ghiasi, ۱۳۹۴)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Baur, U., Benner, P., Greiner, A., Korvink, J.G., Lienemann, J ...
  • Huff, M., "MEMS Fabrication, " Sensor Review, Vol. 22, PP. ...
  • Iannacci, J., "Reliability of MEMS: A Perspective on Failure Mechanisms, ...
  • Bao, M and Yang, H., "Squeeze Film Air Damping in ...
  • Nigro, S., Pagnotta, L and Pantano, M.F., "Analytical and Numerical ...
  • Bao, M., Yang, H., Sun, Y and French, P.J., "Modified ...
  • Micro ele ctromechanics and Micro engineering, Vol. 13, PP. 795-800, ...
  • Hutcherson, S and Ye, W., "On the Squeeze-Film Damping of ...
  • Belardinelli, P., Brocchini, M., Demeio, L and Lenci, S., "Dynamic ...
  • Bao, M., Sun, Y., Zhou, J and Huang, Y., "Squeeze-Film ...
  • Feng, C., Zhao, Y.P and Liu, D.Q., "Squeeze-Film Effect in ...
  • Bao, M., Yang, H., Yin, H and Sun, Y., "Energy ...
  • Zhou, W., Chen, Y., Peng, B., Yang, H., Yu, H., ...
  • Bao, M., Yang, H., Sun, Y and Wang, Y., "Squeeze-Film ...
  • Damping: An Introductory Review of Mathematical Measures and Materialء [15] ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: ۲۵۱۱۲
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.