CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

Design, Analysis and Comparison of Multilayer Electro Thermal Micro Actuators for MEMS Application

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۹ | تعداد نمایش خلاصه: ۱۱۶۱ | نظرات: ۰
سرفصل ارائه مقاله: Electrical, Communication Engineering
سال انتشار: ۱۳۹۱
نوع ارائه: شفاهی
کد COI مقاله: SASTECH06_082
زبان مقاله: انگلیسی
حجم فایل: ۵۳۶.۰۶ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۹ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۹ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله Design, Analysis and Comparison of Multilayer Electro Thermal Micro Actuators for MEMS Application

P. K. Patowari - Department of Mechanical Engineering National Institute of Technology Silchar P.O. Silchar 788010, Assam, India
G Dutta -
K Kalita -
G.C.T Reddy -

چکیده مقاله:

This paper presents the design, analysis and comparison of two different types of multilayer electro thermal actuators for MEMS application, consisting of Titanium (Ti), Silicon Dioxide (SiO2) and Poly-Silicon (poly-Si). Deflection, temperature and force analyses have been carried out for a range of applied voltages within 5V using the software CoventorWare. The types of actuators designed and analyzed in this work are solid cantilever actuator and slotted U-beam type cantilever actuator. At first, the solid cantilever actuator has been analyzed by applying a potential difference across the ends of Ti layer for different thickness of the actuator. Then the slotted cantilever of U-beam type has been analyzed by applying a potential difference across the fixed ends of the Ti layer. Comparison between solid and U-beam type actuators has been made. It has been observed that the deflection of the actuator decreases with increase in the thickness of each layer. However the temperature and the force at the fixed end increases. On comparing the results of the solid and the U-beam it has been observed that even though the deflection of the U-beam is less than that of the solid beam the temperature and the force at the fixed end in case of U-beam is also very much lesser which increases the controlling limit of the device in terms of applied voltage. Thus it has been found that selection of U-beam type slotted cantilever is preferable over the solid cantilever.

کلیدواژه‌ها:

MEMS, Micro, Actuator, Electro thermal

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-SASTECH06-SASTECH06_082.html
کد COI مقاله: SASTECH06_082

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
Patowari, P. K.; G Dutta; K Kalita & G.C.T Reddy, ۱۳۹۱, Design, Analysis and Comparison of Multilayer Electro Thermal Micro Actuators for MEMS Application, ششمین کنفرانس بین المللی پیشرفتهای علوم و تکنولوژی, مشهد, موسسه آموزش عالی خاوران, https://www.civilica.com/Paper-SASTECH06-SASTECH06_082.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (Patowari, P. K.; G Dutta; K Kalita & G.C.T Reddy, ۱۳۹۱)
برای بار دوم به بعد: (Patowari; Dutta; Kalita & Reddy, ۱۳۹۱)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Burns, D. M. & Bright, V. M. (1997). Design and ...
  • Chen, W.C, Chu, C.C., Hsieh, J. & Fang, W. (2003). ...
  • Chiao, M. & Lin, L. (2000). Self-Buckling of Micro Machined ...
  • Todd, S. T. & Xie, H. (2008). An Electro thermo ...
  • Wu, L. & Xie, H. (2008). A Large Vertical Displacement ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.