بررسی تاثیر دمای بازپخت بر خواص ساختاری، اپتیکی و الکتریکی لایه های نازک دی اکسید قطع آلاییده با آلومینیوم

در این کار تجربی لایه های نازک دی اکسید قلع آلاییده با آلومینیوم با ترکیب 10 درصد جرمی آلومینیوم و 90 درصد جرمی دی اکسید قلع به وسیله تبخیر با باریکه الکترونیکی بر روی زیر لایه های شیشه ای نهشته شدند. سپس تاثیر دمای بازپخت بر خواص الکتریکی، اپتیکی و ساختاری این لایه ها بررسی شد. خواص این لایه های نازک به وسیله پراش پرتو X اسپکتروفوتومتر VIS_UV و پروب چهار سوزنی بررسی شد. بررسی طیف XRD اخذ شده از این لایه ها نشان داد که پس از بازپخت، فاز این لایه ها از آمورف به بس بلور تغییر پیدا می کند. میزان شفافیت لایه ها با افزایش دمای بازپخت، بیشتر می شود.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک ، دی اکسید فلع آلاییده با آلومینیوم ، پراش پرتو ایکس ، شفافیت اپتیکی ، مقاومت ویژه