تأثیر دمای پوششدهی بر روی ریزساختار و خواص پوششهای PACVD TiN
سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 463
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
SCMEMI13_079
تاریخ نمایه سازی: 6 بهمن 1395
چکیده مقاله:
در این مقاله، تأثیر دمای پوششدهی بر روی خواص پوششهای TiN بررسی گردیده است. زیرلایه فولاد گرمکار 13H می باشد و پوشش TiN با استفاده از روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما ) PACVD ( بر روی زیرلایه ایجاد گردیده است. دمای پوششدهی بر روی برخی خواصمکانیکی پوشش TiN تأثیر میگذارد. پوشش TiN با استفاده از گازهای 4TiCl ، 2H ، 2N و Ar ایجاد میگردد. فشار ورودی گازها به ترتیب برابربا 0.1 ، 1.6 ، 2.5 و 0.6 میلی بار می باشد. نمودار )سرعت جوانه زنی( ln بر حسب دمای پوششدهی برای تعیین انرژی اکتیواسیون پوشش TiN به کار میرود. مشخصهیابی پوشش TiN با استفاده از SEM, AFM, XRD و سختی سنجی صورت پذیرفت. نتایج SEM نشان داد که اندازهی ذرات TiN تابع دمای زیرلایه در هنگام پوششدهی میباشد. اندازهی ذارت TiN با افزایش دمای زیرلایه افزایش مییابد. دمای زیرلایه تأثیر مستقیمی بر روی ضخامت پوشش، مورفولوژی سطح و سختی دارد. بیشترین سختی مربوط به پوششی است که دارای ساختار ریزتر می باشد
کلیدواژه ها:
نویسندگان
بهمن خرمی مخوری
کارشناس ارشد، دانشگاه صنعتی اصفهان، دانشکدهی مهندسی مواد
علی شفیعی
عضو هیأت علمی دانشگاه اصفهان، دانشکدهی مهندسی مواد
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :