بررسی پارامترهای موثر روی بهبود خواص کریستالی فیلم های نازک اکسید قلع تهیه شده به روش سل- ژل

در این مقاله تاثیر دمای بازپخت و تعداد دفعات لایه نشانی روی ساختار کرییستالی فیلم های اکسید قلع تهیه شده از تگنیک غوطه وری سل- ژل مورد بررسی قرار گرفت. خواص ساختاری فیلم ها بوسیله آنالیز XRD مورد مطالعه قرار گرفت. نتایج الگوی پراش پرتو X نشان می دهد که فیلم های تهیه شده تا دمای C350 آمورف بوده و ساختار کریستالی تتراگونال فیلم ها در دمای 450C شکل گرفت که صفحات در راستاهای 110 101 211 رشد یافته اند. مشاهده شد که با افزایش تعداد دفعات غوطه وری قله های متناظر با بازتاب از صفحات کریستالی تیزتز شده و اندازه دانه ها بزرگتر می شود.